石英管加熱システムは、さまざまな遠赤外線加熱装置で広く使用されています。計画と会計が難しいため、石英管加熱システムの使用には一定の制約があり、適切な石英管を選択することが重要です。 石英管は、非常に優れた根の材料であるシリカで作られた特別な工業技術ガラスです。 石英ガラスは、一連の優れた物理的および化学的機能を備えています。
電気火バレル、電気オーブン、電気ヒーターで使用され、加熱の役割を果たします。 石英管は約 1250 度の高温に耐えることができ、1800 度を超えると非常に柔らかく粘着性になり、目的の形状にすることができるため、密閉管拡散に使用する必要があります。
一方、石英管の材質は特級水晶石を選んでいるため、純度が高く、有害な不純物が少なく、拡散、合金の調合等については品質が確保できるため、密閉管拡散では石英管を使用することが多いです。 石英管の準備: 拡散シリコン ウェーハのさまざまな直径に応じて、石英管の内径、壁の厚さ、およびその他のパラメーターを選択します。
石英管は乳白色の石英ガラス管に特殊な加工を施したもので、抵抗体を発熱体として使用しています。これは、乳白色の石英ガラスが電熱線放射の可視光と近赤外光をほぼすべて吸収し、遠赤外線に変換されます。 ただし、工業用の赤い外線加熱管は、基本的に乳白色の石英管を遮蔽します。その材料は比較的脆いため、長い乳白色の加熱管を構成することはできません。 また、乳白色には遮光効果があり、熱を遮ります。
関連する技術的機能は次のとおりです。 2. 耐食性フッ酸以外の酸と化学的に反応しない石英ガラスは、セラミックスの30倍、ステンレス鋼の150倍の耐酸性を有し、特に高温での化学的安定性は他の追随を許しません。他の工学データと。 3. 優れた熱安定性 石英ガラスの熱膨張係数は非常に小さく、激しい温度変化に耐えることができ、石英ガラスは約 1100 度に加熱され、室温の水に入れても破裂しません。 4. 優れた光透過機能 石英ガラスは、紫外から赤外までのスペクトル帯域全体で優れた光透過機能を持ち、可視光透過率は 93% を超え、特に紫外スペクトル領域で、Z の大きな透過率は 80 以上に達することがあります。 . 5. 優れた電気絶縁機能 石英ガラスの抵抗値は、通常のガラスの 10 000 倍に相当し、電気絶縁性に優れ、高温でも電気機能が良好です。
